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    增進超純水水質穩定度的方法

    718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:07:30
    一種增進超純水水質穩定度的方法,是在超純水的供水系統中—包括有前處理系統,超純水回路和制程廢水回收系統(包括洗滌廢水回收系統,CMP制程廢水回收系統(chemical mechanic polish waste water recovery system等等),強制對流體混合,使任一截面的流體,和前面及后面相鄰的截面的流體彼此混合,再將最終產出之超純水送至需要超純水的物品上。
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