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    非晶態金屬離子摻雜二氧化鈦光催化材料及其制備工藝

    1146   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 03:19:42
    一種非晶態金屬離子摻雜二氧化鈦光催化材料 及其制備工藝,屬于TiO2光催化 薄膜材料技術領域。本發明的光催化材料由Ti、Cr或V金屬 離子及O組成。本發明的工藝是以玻璃和不耐高溫的高分子材 料及其它各類材料為基材,采用直流、射頻磁控反應共濺射的 方法,以Ti靶為磁控濺射直流端的陰極,以金屬(Cr或V)靶為 磁控濺射射頻端的陰極,以基材為陽極, N2為工作氣體, Ar2為濺射氣體, O2為反應氣體,通過調節直流端 和射頻端的輸入功率以及濺射時間等工藝參數,分別控制Ti 和金屬離子(Cr或V)的相對含量和薄膜的厚度??蓮V泛用于廢 水處理、空氣凈化、消毒殺菌以及玻璃瓷磚表面自潔凈等方面。
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