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    用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑和處理光致抗蝕劑層的方法

    984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:24:18
    本發明提供一種用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑,其包括50到80重量%的醋酸正丁酯,丙二醇烷基醚,和丙二醇烷基醚醋酸酯。該稀釋劑既對人類無毒害,也不對生態帶來不利影響,而且沒有不適的氣味。其廢液和與之相關的廢水容易處理,由此使得這種稀釋劑對環境友好。本發明的光致抗蝕劑稀釋劑具有優異的沖洗能力。
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    “用于沖洗光致抗蝕劑的稀釋劑和處理光致抗蝕劑層的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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