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    回轉反應爐熱裂解氟硅酸鈉制備四氟化硅的方法

    754   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:27:18
    本發明提供一種回轉反應爐熱裂解氟硅酸鈉制備四氟化硅的工藝,將氟硅酸鈉在200℃～300℃下在煅燒爐內干燥熱處理,除去其中的水份,煅燒爐內維持負壓,負壓值控制在10～30mmH2O;將干燥后的氟硅酸鈉送入回轉反應爐,在500～900℃(物料溫度)下熱裂解1～2個小時,熱裂解得到四氟化硅和氟化鈉。產生的四氟化硅氣體經過除塵、冷卻、干燥、壓縮、收集高純的四氟化硅氣體。本發明工藝過程反應物單一,無廢氣、廢水、廢渣排放,屬于環保綜合利用項目。
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