本發明涉及一種金剛線切割晶體硅生產線的用水方法,所述金剛線切割晶體硅生產線攜帶的n臺線切機中,有i臺線切機的儲水罐使用純水配制循環液;所述金剛線切割晶體硅生產線攜帶的n臺線切機中,有j臺線切機的儲水罐使用水回收系統的生產用水配制循環液;所述水回收系統造成x%的水量損失;所述i+j=n;且x%?5%≤i/n×100%≤x%+5%。本發明通過在n臺線切機中選取i臺線切機使用純水調配循環液,作為切割的標準硅片,時時比較使用廢水回收的生產用水的j臺線切機的切割硅片是否合格,克服了現有技術由于COD檢測時間比較長,導致的取樣點與生產線切割用水不一致導致的切割硅片不合格的問題。 1
聲明:
“金剛線切割晶體硅生產線的用水方法及用水系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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