本發明涉及一種產生大體積大氣壓等離子體的三電極裝置,包括有同軸介質管、接地平板水電極、鎢針電極和低溫等離子體發生電源;同軸介質管為帶軸向中心內腔且截面呈U形的雙層管狀密閉容器體,在密閉容器體的側壁上開有灌注工作氣體用的進氣口;鎢針電極從同軸介質管的封口端穿入同軸介質管的中心內腔中,其前端位于同軸介質管中心內腔的敞口端處,其后端與低溫等離子體發生電源的輸出電極電連接;接地平板水電極位于同軸介質管敞口端的外側,并與低溫等離子體發生電源的接地電極電連接。本發明可用于制造等離子體燈、等離子體顯示、薄膜產生以及表面改性等技術領域,還可生成臭氧,用于廢水廢氣的處理、殺菌消毒和等離子體隱身等。
聲明:
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