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    FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制備方法及應用

    887   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:32:41
    本發明公開了一種FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制備方法及應用，該高熵合金薄膜，按質量百分比包含以下組分：Fe:23.1％～36.8％，Co:16.9％～48.9％，Ni:7.4％～20.4％，Mn:7.6％～38.9％。該制備方法為，采用射頻磁控濺射法，將靶材原材料拼接成濺射靶材，至少以一種保護氣體為工作氣體，在基體表面濺射沉積FeCoNiMn高熵合金薄膜。本發明通過射頻磁控濺射工藝制備了非晶的FeCoNiMn高熵合金薄膜電極材料，薄膜與基底結合良好，具有較高的催化活性，可以在60min內電化學催化降解97％的有機物，為高熵合金薄膜在電催化降解有機物廢水方面的應用奠定基礎。
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