一種微蝕刻液的再生循環裝置,包括與微蝕刻生產線連通的蝕刻廢液槽以及,用于輸送再生蝕刻液至微蝕刻生產線的再生調配槽;所述蝕刻廢液槽與電解槽連通,所述電解槽與所述再生調配槽連通。該微蝕刻液的再生循環裝置采用直接電解的生產工藝,將微蝕刻廢液直接加入到電解槽中進行電解,將廢液中的銅離子分離出來,經過電沉積后形成高純電解銅板;降低銅離子濃度的電解液經調整參數后返回微蝕刻生產線使用,實現微蝕刻廢液的循環再生。該設備為全自動封閉及環保型系統,無廢水、廢氣及其他廢物排放。
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