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    可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置

    763   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:43:24
    本發明公開了一種可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置，其結構包括主機體、排氣設備、沖洗設備、電動桿、傳動裝置、排水管、加工倉，所述主機體的頂部設有排氣設備，所述排氣設備通過螺栓和主機體固定連接，所述主機體的左部設有沖洗設備，所述沖洗設備通過連接管與加工倉連接，所述加工倉通過焊接固定在主機體的內部，所述加工倉的底部設有排水管，所述排水管上設有閥門，所述加工倉通過排水管連接至廢水管，可以有效的控制設備的刻蝕時間，防止刻蝕時間或者刻蝕濃度的差異導致的良品率不穩定的問題，提高了設備的工作的穩定性和可靠性，提高了設備的經濟效益。
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    聲明：
    “可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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