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    廢氣處理裝置及半導體設備

    914   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:29:58
    本發明提供一種廢氣處理裝置及半導體設備，廢氣處理裝置包括處理腔體、過濾組件、支撐組件和抽氣部件，支撐組件設置在處理腔體中，將處理腔體的內部空間分為第一處理腔和第二處理腔；支撐組件上設有供廢氣通過的通氣結構，廢氣通過抽氣部件從第一處理腔經過通氣結構向第二處理腔流動；處理腔體上設置有進氣結構和排氣結構，進氣結構與第一處理腔連通，排氣結構與第二處理腔連通；過濾組件設于支撐組件上且位于第二處理腔中，包括多個相互堆疊的固體填料，固體填料用于對由廢氣產生的污染物進行過濾。本發明提供的廢氣處理裝置及半導體設備能夠降低過濾組件更換的頻率，從而能夠降低廢氣處理裝置的使用成本，并提高半導體設備的使用效率。
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