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    硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法

    1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:30:57
    本發明涉及一種硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法，是一種硅片切割廢液資源化回收利用。本發明包括：向硅片切割廢液中加入稀釋劑攪拌，以達到降低粘度和去除鐵屑的目的；將反應后的懸浮液進行固液分離；用蒸餾水洗滌固體物料至中性，離心，烘干；將該固體物料與一定量的焦炭混合，放置在1500℃～2000℃的氣氛爐中反應，將固體物料中的硅轉化成碳化硅；反應制得固體粉料經過氧氣氣氛爐反應除去過量的焦炭得到高純碳化硅粉體，將該粉體經分級設備進行分級；對分出的不同粒徑的碳化硅粉體進行分號包裝。本發明提供了一種工藝簡單，回收成本較低的工藝，這不僅有效的避免了切割廢液直接排放造成的資源浪費及環境污染，同時還降低了硅片切割的生產成本，是一種變廢為寶的技術。
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