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    單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法

    811   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:39:41
    本發明公開了一種單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法，包括以下步驟：(1)、在處于攪拌下的單晶硅切割渣及切割廢液中加入鹽酸，攪拌反應后得混合料液；(2)、將混合料液加熱蒸發進行固液分離，得到碳化硅、硅和雜質的固體混合物和氣體，將氣體蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脫水后升溫排水得聚乙二醇；(3)、將碳化硅、硅和雜質的固體混合物經震蕩清洗和重力分離得到碳化硅和硅的固體混合物；(4)、將碳化硅和硅的固體混合物加入到硝酸和HF組成的混合酸溶液中，反應后將氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再將氟硅酸加工回收硅，反應后剩余碳化硅和酸液，過濾酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本發明方法環保且具有很大的經濟效益。
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    “單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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