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    硅片切割廢棄硅漿料回收制備多孔碳化硅的方法

    968   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 04:44:42
    本發明涉及一種硅片切割廢棄硅漿料回收制備多孔碳化硅的方法,其方法如下:(1)廢棄硅漿料固液分離,分離得固相和液相;(2)固相與pH值為0.1~2.0無機酸水溶液混合,酸處理后固液分離,分離得固體和液體;(3)固體通入具有含氯物質的惰性氣體充分接觸,反應即得到多孔碳化硅;采用本發明所述的方法,工藝流程和生產周期短、回收率高達98.5%,獲得的多孔碳化硅具有較高的表面積和孔容,可作為載體應用于合成氨、對羥基苯甲醛加氫、腈類化合物加氫、烷烴脫氫和芳烴氧化等領域,從而減小資源浪費和環境污染,提高副產品價值。
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