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    硅片切割廢砂漿中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法

    782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:46:53
    本發明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，將硅片切割廢砂漿與水混合后進行第一級固液分離，將第一級固體顆粒經水稀釋后進行第二級固液分離，將第二級懸浮液回用于上述混合，將第二級固體顆粒經第一級水洗后進行第三級離心分離，將第三級離心液回用于上述稀釋，將第三級離心固體顆粒經第二級水洗后進行第四級離心分離，將第四級離心液回用于第一級水洗，將第四級離心固體顆粒經干燥、篩選后得到碳化硅；將第一級懸浮液進行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進行減壓蒸餾和薄膜蒸發，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發水，所述減壓蒸餾水用于第二級水洗，所述薄膜蒸發水用于第一級水洗。該回收方法顯著降低污水的污染程度，利于環保。
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