本申請公開了一種酸性和堿性廢氣處理裝置,處理腔主體包括僅上部互相連通的左腔和右腔,所述左腔具有第一水箱,所述右腔具有第二水箱;所述第一水箱的上方安裝有第一級填充料單元,所述第一級填充料單元的周圍設置有噴淋第一極性液體的第一噴淋單元,所述左腔和所述右腔的上部互相連通的位置設置有第一液氣分離單元;所述第二水箱的上方安裝有第二級填充料單元,所述第二級填充料單元的周圍設置有噴淋第二極性液體的第二噴淋單元,所述右腔與外界連通的位置設置有第二液氣分離單元;所述第一極性液體和所述第二極性液體的酸堿性相反。該裝置能夠有效地處理清洗制程設備生產過程中排放的大量酸性或堿性廢氣,避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道。
聲明:
“酸性和堿性廢氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)