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    回收硅片切割液的方法

    1071   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:51:20
    本發明涉及一種從硅片切割生產過程產生的廢切割液中,回收切割液的精制辦法。按照本發明提供的技術方案,所述從硅片切割生產過程產生的廢切割液中回收切割液的方法,包括如下步驟:步驟一,分離固體份,在分離設備中去所述除廢切割液中的固體份;步驟二,精密過濾,將去除了固體份后的廢切割液送入精密過濾器;步驟三,膜分離,利用水泵使經過精密過濾后的廢切割液通過分子量在50000-7000000MW的過濾膜;步驟四,離子交換,將經過膜分離后的廢切割液通過離子交換設備;步驟五,蒸發濃縮脫水,經過離子交換后的廢切割液送入濃縮設備內,形成可回用的切割液。本發明可以有效解決目前切割液回收行業中存在的固液分離困難、回收液純度不高,回收收率較低等普遍問題。
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    聲明：
    “回收硅片切割液的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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