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    產生氟和循環氟的方法和設備

    778   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:56:07
    本發明涉及用來產生和循環氟的設備和方法,申請人認識到氟分離器單獨使用或與等離子體發生器結合,能在用于薄膜加工的地點生產足夠量的氟。氟分離器可以是冷凝器,膜分離裝置,是固體電解質的氟離子導體或前述的組合形式。在某些實施方式中,含氟的反應產物通過氟分離器。在其他實施方式中,分離的氟單獨或與其他含氟原料結合通入等離子體發生器。氟分離器將氟循環,并從體系中除去廢產物。
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    聲明：
    “產生氟和循環氟的方法和設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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