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    多晶硅生產中尾氣處理系統的氯硅烷回收系統

    753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:56:57
    本實用新型公開了一種多晶硅生產中尾氣處理系統的氯硅烷回收系統，屬于多晶硅生產領域，包括硅粉除塵器和硅粉收集罐，硅粉除塵器底部通過管道I連接的硅粉收集罐，管道I上設有閥門I，硅粉收集罐頂部通過廢氣管連接廢氣淋洗系統，廢氣管上安裝有閥門II，廢氣管上還連接有氣相返回管；另一端連接硅粉除塵器，氣相返回管上設有閥門III，硅粉收集罐上連接有H2進料管線和N2進料管線，H2進料管線上設有閥門IV，N2進料管線上設有閥門V，硅粉除塵器還連接尾氣回收系統，解決多晶硅生產中還原過程中，經過硅粉除塵器捕集后，向硅粉收集罐泄放過程中，氣相中夾帶硅粉較多，導致增加淋洗系統負荷，同時生成的固體物質容易堵塞管道的問題。
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