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    半導體級氨水及硫酸回收循環制造方法

    1178   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:58:31
    一種半導體級氨水及硫酸回收循環制造方法，將半導體工業產生的大量廢酸液及硫酸銨回收處理導入一混合爐加熱，以產生混合氣體及混合液體，再制得高純度氨水及高純度硫酸，供半導體工業使用。該混合氣體包括氨氣及水氣經純化后，產生高濃度的純氨氣，再用超純水吸收以產生一半導體級氨水。而混合液體則包括廢硫酸及水，導入一分解爐產生SO2氣體；通過一含有催化劑的反應器，后經一連串有效反應處理，以產生無金屬的高純度SO3氣體，再加入一惰性氣體將SO3氣體稀釋，并與高純度硫酸混合，過濾除去其固體雜質，即得一半導體級硫酸。
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