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    三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置

    820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 05:36:45
    一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置，包括合成爐和硅粉收集罐，合成爐通過金屬軟管與硅粉收集罐的接口連通，具體的說，所述合成爐的底部具有錐體結構，所述錐體結構的兩端分別與氮氣進口管線和正常氯化氫進氣管線連通，在所述合成爐的錐體結構上部側壁上設有硅粉泄放閥，硅粉泄放閥通過金屬軟管與硅粉收集罐側壁上的接口連接，在所述硅粉收集罐頂部的氮氣出口處設有布袋過濾器。本實用新型的有益效果如下：本實用新型提供的回收裝置，工藝簡單，工藝條件易于實現，且操作方便；再生產中可以將合成爐內廢舊硅粉全部回收再使用，同時回收時不會對人員身體產生粉塵危害。
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