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    多晶硅鑄錠爐保護氣循環系統

    958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 05:45:14
    本發明公開了一種多晶硅鑄錠爐保護氣循環系統，進氣管的出口處設置有螺旋槳，石墨護罩上設置有排氣孔，排出的尾氣經集氣罩集氣后通過排氣管排出至爐體外部，并導入至吸收器內的吸收液內，且吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液；經吸收后的尾氣經干燥器干燥后導入至尾氣回收罐，并通過進氣管及螺旋槳循環進入石墨護罩腔室內。該發明使得保護氣形成有效的螺旋流動并帶動硅液流動而有效排出雜質，廢氣經集氣后排出至吸收器進行吸收一氧化碳，凈化后的保護氣經干燥后進入回收罐以重復使用，有效避免了一氧化碳氣體進入大氣而導致危害發生，且凈化后的保護氣可以重復回收使用而降低了使用成本。
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    “多晶硅鑄錠爐保護氣循環系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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