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    HMDS涂布設備

    674   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 05:47:39
    本實用新型公開了一種HMDS涂布設備，包括殼體，所述殼體內構成涂布腔，所述涂布腔內設置有加熱件，還包括用于向涂布腔內輸送氮氣的第一管道，用于向涂布腔內輸送HMDS蒸汽與氮氣混合氣體的第二管道，用于向涂布腔內輸送空氣的第三管道，用于從涂布腔向外排氣的排氣管道和用于對涂布腔抽真空的抽真空管道，所述抽真空管道上設置有真空泵，所述第一管道、第二管道、第三管道、排氣管道和抽真空管道分別與涂布腔連通。其保證涂布效果的同時，有效減少HMDS的使用量，避免了廢氣中HMDS對環境的危害。
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