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    一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統

    1277   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:02:13
    本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統，通過設置進料管線和卸料管線，并借助真空泵，將三氯氫硅合成爐內的廢硅粉輸送至分離器中，一方面，實現了廢硅粉的封閉式回收，避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸，保證的硅粉的活性，也降低了閃爆的危險，提高安全性；另一方面，降低人工勞動強度，保護了職工身體健康；通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離，將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內，避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內，能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期；該廢硅粉回收系統結構簡單，易于操作。
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    “一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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