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    光刻膠剝離液再生方法

    1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:06:14
    本發明公開了一種光刻膠剝離液再生方法，包括以下步驟：S1：回收剝離液新液使用后的剝離液廢液，將剝離液廢液經過蒸餾、加壓工序，得出剝離液廢液的純化液體；純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物；S2：制備添加劑，添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑；S3：將步驟S1的剝離液廢液與添加劑混合，重新制備剝離液新液，制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本發明對剝離液廢液進行加壓、蒸餾等處理，得出純化液體，該純化液體中所含的物質是剝離液新液中所含有的某些組分，而通過預先制備添加劑，可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料，重新配備剝離液新液，使得剝離液廢液得以循環再生，減少資源的浪費以及對環境的危害。
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    聲明：
    “光刻膠剝離液再生方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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