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    半導體前段設備模組的排氣裝置

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:06:14
    本發明提供了一種半導體前段設備模組的排氣裝置，包括：集氣箱，設置于廢氣源的下方，集氣箱的頂部設置有開口面，集氣箱的內部經由開口面與廢氣源相連通，其中所述廢氣源包含半導體前段設備模組；排氣管路，設置于集氣箱底部或側面，且所述排氣管路的一端與集氣箱內部相連通。本發明提供了一種半導體前段設備模組的排氣裝置，通過引入設置于半導體前段設備模組下方的集氣箱，并將廢氣從排氣管路排出，避免了因有毒廢氣泄露而對周邊環境造成的危害；此外，還在半導體前段設備模組內產生垂直向下的氣流，減少了半導體前段設備模組內因渦流產生的顆粒污染，提高了晶圓良率。
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    “半導體前段設備模組的排氣裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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