本發明公開了一種超高純氫氟酸的制備方法,包括:1)將無水氟化氫汽化,摻入含有氟氣、三氟化氮和二氟化氧中的一種或多種的含氟氣體,得第一混合氣;2)將所述第一混合氣通入等離子體發生裝置中,使第一混合氣中含有的雜質三氟化砷轉化為五氟化砷,得第二混合氣;3)將第二混合氣通過含有金屬氟化物的水溶液進行洗滌得到純化的氟化氫,并控制水溶液的溫度,洗滌過程中第二混合氣中的五氟化砷反應轉化為砷酸鹽,保留在水中;4)選擇性地重復步驟2)和步驟3)的步驟;5)將所述超高純氟化氫溶解于水中,過濾,得純化的氫氟酸;本發明的方法簡單、高效,成本低,可連續生產,不會給后續應用帶來不利影響,且無化工危險廢棄物,對環境危害小。
聲明:
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