本發明公開了一種光刻膠返工去膠刷片機,包括機箱與位于所述機箱上的第一清洗組件;所述機箱上設置有料倉與移料組件,所述第一清洗組件包括容納盒體、位于所述容納盒體上方開口位置處的噴淋桿以及位于所述容納盒體內的載料臺,所述噴淋桿上設有噴淋口,所述載料臺上設置有吸盤。本發明在機箱、第一清洗組件、料倉以及移料組件的配合作用下,實現了對藍寶石晶片的快速清洗,大大減少了丙酮溶液的消耗,并且無需采用濃硫酸對晶片作進一步處理,減少了成本的消耗,減少了?;窂U液的產生,更為環保,同時還能夠保證晶片清洗后的品質穩定性。
聲明:
“一種光刻膠返工去膠刷片機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)