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    微納傳感器封裝氣密性失效時間的預測方法

    741   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明公開了一種微納傳感器封裝氣密性失效時間預測方法，通過確定所述微納傳感器在不同時刻的漏率，并建立所述漏率和時間的函數關系；然后基于所述函數關系和所述微納傳感器的封裝腔體內部體積，建立預測模型，并根據所述預測模型確定出封裝腔內壓強與時間的變化關系；然后基于所述變化關系和所述封裝腔壓強的失效閾值對封裝氣密性失效時間進行預測，實現了針對微納傳感器氣密性失效時間進行預測，以及微納傳感器氣密性封裝的可靠性預測僅需少量的數據獲取就可以進行，有效地減少了預測需要的時間。
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