用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置
技術領域
1.本實用新型涉及廢氣凈化技術領域，具體涉及一種用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置。
背景技術：
2.使用cvd技術合成二硫化鉬過程中會產生大量廢氣，其中主要為酸性氣體（hcl和hf）和氮氧化物（nox），若不加以處理就排放，會對大氣環境造成污染，實驗室中制備二硫化鉬時，廢氣通常使用排氣裝置直接排除，但廢氣中的酸性氣體會腐蝕排氣管道?，F有的廢氣處理裝置大多為大型生產線服務，其占地面積大，不易于組裝，不適合實驗室中使用，因此急需一種能便于處理實驗室制備二硫化鉬時產生廢氣的裝置，以保護實驗人員的安全，同時保護大氣環境不受污染。
技術實現要素：
3.本實用新型的目的是為克服上述現有技術的不足，提供一種用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置，其結構簡單、設計合理，占地面積小，便于在實驗室內處理廢氣。
4.為實現上述目的，本實用新型采用下述技術方案：
5.用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置，包括密封殼體，所述密封殼體為空心長方體，密封殼體中按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過濾器、堿液過濾器組和二次活性炭過濾器，所述堿液過濾器組共設有順次連接的三個完全相同的堿液過濾器，一次活性炭過濾器處連接有進氣管、二次活性炭過濾器處連接有排氣管，密封殼體的左右兩側面各開有一個與進氣管和出氣管尺寸匹配的通孔，進氣管和排氣管穿過通孔伸出密封殼體。
6.所述進氣管和排氣管分別插入一次活性炭過濾器和二次活性炭過濾器，進氣管遠離一次活性炭過濾器的一端固定有橡膠塞，橡膠塞由防腐蝕橡膠制成、且中心設有供氣體流通的圓形通孔，利用橡膠塞將裝置整體與cvd反應裝置尾端連接，并保證無廢氣泄露至環境中。
7.所述堿液過濾器中裝有濃度為15%?25%的naoh溶液，且堿液過濾器中naoh溶液液位低于堿液過濾器總高度的80%。
8.所述堿液過濾器處設有攪拌裝置，攪拌裝置包括固定在堿液過濾器頂端的攪拌電機和與攪拌電機連接的攪拌槳，攪拌電機豎向設置、輸出軸伸向堿液過濾器內，攪拌槳為直葉槳、且靠近堿液過濾器底面，增加廢氣通入后與液體的接觸面積。
9.所述堿液過濾器內固定有濃度在線監測裝置，濃度在線監測裝置為在線ph計或在線naoh濃度測定儀，實時監測堿液過濾器內的naoh溶液濃度。
10.所述密封殼體內固定有堿液儲液槽，堿液儲液槽為由
聲明：
“用于CVD合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：山東省科學院新材料研究所
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2025年07月23日 ~ 26日 
