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    摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜的制備方法

    1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:28:55
    本發明公開了一種摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜的制備方法，其制備方法如下：以高純Bi2O3,Na2CO3,BaCO3,TiO2為原料，將原料在無水乙醇中用鋯球濕磨、烘干、壓片，在一定大氣壓下鍛燒，制得鈣鈦礦結構粉料；將所得鈣鈦礦結構粉料二次球磨烘干后壓片，并于1200℃下保溫1-4小時燒結得到靶材；裝好靶材和襯底，調節靶基距、濺射溫度、功率、頻率；濺射完畢在原位退火，保持氧氣壓并自然冷卻至室溫，制得摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜。本發明可以通過工藝參數調控薄膜的取向和厚度，制備的無鉛壓電薄膜顯示出較好的鐵電與介電性能，具有操作方便，重復性好的優點。
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    “摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    通用技術
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