1.本發明屬于氣體檢測技術領域，具體涉及一種光學諧振腔氣體檢測系統及其檢測方法。
背景技術：
2.光腔衰蕩光譜法（crds）是一種新型的氣體檢測方法。它從原理上不需要標準氣體標定，是一種高靈敏度，可測量痕量樣品或者微弱轉換的大量樣品的一種激光吸收光譜法。目前，crds已有應用在鏡面反射率測量、痕量氣體成分檢測、氣溶膠消光系數測量等方面。光腔衰蕩吸收光譜的氣體檢測方法具有以下缺點或不足：1）、光腔衰蕩吸收光譜中諧振腔非常重要，制作難度較高光腔衰蕩吸收光譜，一般采用兩個高反射率的反射鏡構建一個諧振腔池。激光脈沖被引入由兩個高反射鏡包圍的諧振腔中。反射的激光在諧振腔中振蕩，每次反射都會損耗少量的光。放置在第二面鏡子后的探測器測量反射光的減弱強度。諧振腔中被測氣體無法吸收時信號衰減較慢；諧振腔中有氣體吸收時，信號衰減較快。通過計算信號衰減的曲線，計算諧振腔中被測氣體的濃度。
3.crds檢測技術的關鍵是光學諧振腔，諧振腔的關鍵是其中的兩個高反射鏡片，反射鏡片反射率越高，衰蕩時間越長，設備靈敏度相應就越高。一般要求鏡片的反射率>99.9%。而受制造工藝及材料的限制，現階段反射率超高的鏡片制作難度大、成本高，因而crds光譜檢測方法一直未被廣泛推廣。
4.2）、現有光腔衰蕩光譜吸收法，光源長期存在漂移，無法保證測量精度crds光譜吸收法依賴氣體對激光的吸收，一般情況下使用半導體可調諧激光器。半導體可調諧激光器，其輸出激光中心波長隨環境溫度及注入電流變化，一般情況下，溫度每變化1℃，中心波長偏移0.1nm，注入電流每變化1ma,中心波長變化0.01nm。激光器受制造工藝及器件本身特性影響，在使用過程中其中心波長會緩慢長期的發生變化，如無有效手段對其吸收波長進行修正，會因為激光器中心波長的漂移造成測量不準確甚至無法測量。
5.目前還有采用中空光纖技術的光譜檢測方法，該檢測方法具有以下缺點或不足：1）、反應時間長目前有文獻結合中空光纖進行氣體組分光譜分析，利用中空光纖既能導通激光又能導通氣體的特點，對氣體組分進行檢測，但由于中空光纖芯徑非常小，只有100nm左右，利用這么小的芯徑導通氣體，進行氣體置換效率非常低下，使得整個系統反應時間較長，無法發揮光學光譜檢測高效快速的優點。
6.2）、中空光纖技術結合中空光纖設計諧振腔，靈敏度較差有文獻采用分束器結合中空光
聲明：
“光學諧振腔氣體檢測系統及其檢測方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1177
編輯：中冶有色網
來源：河南省日立信股份有限公司國網電力科學研究院武漢南瑞有限責任公司中國電力科學研究院有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年08月05日 ~ 07日 
