真空熱壓爐是在真空(或其它氣氛)條件下將材料熱壓成型的成套設備,主要采用電阻或感應加熱,由油缸驅動的壓頭上下加壓。在高溫下,生坯固體顆粒的相互鍵聯,晶粒長大,空隙(氣孔)和晶界逐漸減少,通過物質的傳遞,其總體積收縮,密度增加,最后成為具有某種顯微結構的致密多晶燒結體,從而將物料壓制成形。高溫、加壓以及真空或氣氛的同時作用顯著提高產品的密度、硬度以及其它機械、電子、熱學性能。
真空感應高溫石墨化爐是在真空或惰性氣體條件下利用中頻電源通過螺旋型的水冷感應線圈產生交變磁場,使感應線圈內的石墨坩堝產生感應電動勢,中頻電流就在坩堝內形成環流,從而使坩堝產生高溫并輻射到工件,使其達到所需要的溫度。該爐主要用于碳素制品的石墨化或氣相沉積石墨。
真空感應化學氣相沉積爐是在真空或保護氣氛下,利用中頻感應原理將置于感應線圈內的石墨坩堝加熱,也可電阻加熱,石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規定溫度,并通入稀釋的碳氫氣體。
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