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    石墨烯生長專用設備——雙溫區滑軌CVD系統

    石墨烯生長專用設備——雙溫區滑軌CVD系統

    2258
    規格/型號：-01
    品牌：暫無
    應用領域：暫無
    產地：安徽 - 合肥
    廠家/供應商：安徽貝意克設備技術有限公司
    咨詢電話:：暫無（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2021-12-08
    級別：待認證

    石墨烯生長專用設備——雙溫區滑軌CVD系統說明介紹

    一、產品特點
        滑軌式快速升降溫爐是專為生長薄膜石墨烯研制的，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環境下，得到快速的降溫速率。

    二、主要技術參數

    雙溫區滑軌爐BTF-1200C-II-SL Φ100mm


    技術參數：
    額定功率：5KW
    額定電壓：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
    最高溫度：1200℃（1 hour）
    持續工作溫度≤1100℃
    推薦升溫速率≤20℃/min
    爐管尺寸：高純石英管Φ50/60/80/100*1650mm（石英管管徑可選）
    加熱區長度：200+200mm
    恒溫區長度：100+100mm
    移動方式：爐體可在底部導軌在手動自由移動。
    控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
    控溫精度：±1℃
    供氣系統3路質子觸摸屏控制（ GMF-3Z）

    主要特點： 該供氣系統是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置，質量流量計安裝于密封的可移動機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制，此款設備與BEQ品牌的各款真空管式爐和真空機組組成CVD系統。


    技術參數：
    工作電壓：185~245V，50 Hz
    最大輸出功率：18W
    流量計標準量程：5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm（非特殊指定以氮氣標定，量程可選）
    工作溫度：4~45℃
    工作壓差：0.1~0.5Mpa
    最大壓力：3Mpa
    準確度：±1.5%F.S
    壓力表測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
    針閥：316不銹鋼
    混氣罐：Φ80*120mm
    截止閥：Φ6mm
    尺寸：600*600*650mm
    低真空機組VAU-02
    設備特點：VAU-02是一套低真空機組，內部安裝DRV-10機械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。

    1、技術參數：（DRV-10）
    空氣相對濕度≤85%
    工作電電壓：220V±10% 50~60HZ

    功率：1千瓦
    抽氣速率：10m3/h
    極限真空：4X10-2Pa
    實驗真空度：1.0X10-1Pa
    容油量：1.1L
    進氣口口徑：KF25
    排氣口口徑：KF25
    轉速：1450rpm
    噪音：50dB
    外型尺寸:600×600×650m

    2、進口真空計參數：

    型號：PCG550
    特點：其測量范圍為3.8x10-5至1125Torr.當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。具有較高的精確度和重復性，響應時間較短（≤30ms)。而且傳感器上涂有防腐涂層，所以此款真空計具有較強的抗腐蝕性。
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    標簽：
    雙溫區滑軌式cvd系統 石墨烯 石墨烯設備
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    安徽貝意克設備技術有限公司
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