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工作原理
設備采用雙技術融合設計：非接觸模式下，激光位移傳感器發射線性光束至被測表面，通過反射光相位差計算高度變化，實現無損檢測；接觸模式下，金剛石觸針沿表面滑動，位移傳感器將機械形變轉化為電信號，經濾波算法生成輪廓曲線。兩種模式互補，既可避免軟材料觸針劃傷，又能突破光學反射率限制，實現復雜曲面全覆蓋測量。
應用范圍
半導體制造：檢測晶圓表面平整度、光刻膠厚度均勻性，確保芯片封裝良率；
汽車工業：測量發動機曲軸、齒輪齒形輪廓誤差，控制裝配精度；
新能源領域：評估鋰電池極片涂層厚度、隔膜孔隙率，優化電池性能；
航空航天：分析渦輪葉片表面波紋度、復合材料層間結合強度，保障飛行安全。
某新能源汽車企業通過該設備實現極片涂層厚度CPK值≥1.67，單片檢測耗時從15分鐘縮短至2分鐘。
技術參數
測量范圍：0.016μm-1.6mm（垂直方向），橫向掃描長度達200mm；
分辨率：垂直方向0.001μm，橫向0.1μm；
重復性：≤0.005μm（ISO 5436-1標準樣塊驗證）；
掃描速度：0.05-20mm/s可調，支持高速動態檢測；
兼容性：內置Rational-DMIS軟件，支持ISO/ASME/EUR/GBT國際標準參數計算。
產品特點
雙模智能切換：一鍵切換激光/觸針模式，適配硬質合金與柔性薄膜等多樣本；
全封閉框架結構：花崗巖基座與氣浮導軌組合，熱膨脹系數≤1×10??/℃，確保24小時穩定性；
AI缺陷識別：深度學習算法自動標記劃痕、孔洞等缺陷，生成3D形貌熱力圖；
模塊化擴展：支持偏振光模塊、微分干涉模塊接入，滿足超光滑表面檢測需求。
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河南 - 洛陽
2025年07月16日 ~ 18日
