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    > 立式雙溫區CVD系統

    立式雙溫區CVD系統

    立式雙溫區CVD系統

    198
    規格/型號：KJ-TCVD1100-S40CK2
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-24
    級別：待認證

    立式雙溫區CVD系統說明介紹

    立式雙溫區CVD系統

    設備介紹

    該立式雙溫區CVD系統主要由：1200度雙溫區管式爐、3通道質量流量計供氣系統、2L/S抽速真空泵及相關連接件組成;設備下方加裝定向輪和萬向輪，設備整體占地尺寸小并可靈活移動。該設備適用于CVD工藝，主要用于大學，研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。

    產品優勢

    多段智能PID程序控溫

    控溫系統采用PID方式調節，多段"時間—溫度曲線"任意可設，可編程30步

    立式可開啟結構

    雙層殼體立式可開啟結構，取放爐管方便，裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內

    優良的動密封系統

    不銹鋼金屬法蘭，帶閥門和相關接口，拆裝方便，可抽真空，同時連接3種氣源至微正壓

    技術參數

    設備名稱 立式CVD系統

    設備型號 KJ-TCVD1100-S40CK2

    流化床管式爐部分

    最高溫度 1200 ℃

    工作溫度 ≤1100℃

    顯示 LCD觸摸屏

    管徑 外徑40mm*長度1100mm(其他尺寸可按客戶需求定制)

    管材 高純石英管

    加熱元件 優質電阻絲

    加熱速率 0~10℃/min

    溫度控制 ?多段"時間—溫度曲線"任意可設，可編程30步

    ?觸屏多段智能PID程序控溫 ，燒結數據可記錄并以excel形式導出

    ?內置超溫和熱電偶故障保護

    熱電偶 N型熱電偶測溫

    密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套含密封

    爐膛 雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風扇，雙溫區立式開啟結構，取放爐管方便

    爐膛材質為氧化鋁耐火纖維，保溫節能

    真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭

    供氣系統：3路質量流量控制系統

    氣體通道 可同時連接3種氣源至微正壓

    流量計 質量流量計(可選其他量程)

    氣路壓力 -0.1～0.15 MPa

    截止閥 不銹鋼材質

    氣路連接管 1/4不銹鋼管

    真空泵+真空計系統

    真空泵 真空泵配硅膠軟管可快速置換爐管內氣體
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    立式雙溫區CVD系統 CVD系統
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    17737149370
    詳細地址：
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