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    玻璃基板清洗單元

    982   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:05:31
    本實用新型涉及N2退火爐及快速退火前清洗機噴嘴的安裝、排布方式，提供一種玻璃基板清洗單元，包括與傳送入腔室內的玻璃基板相對設置的主清洗噴嘴和副清洗噴嘴，所述主清洗噴嘴排布于腔室的前段，副清洗噴嘴排布于腔室的后段，副清洗噴嘴的噴射出口方向與玻璃基板的傳送方向之間的夾角小于90度，本實用新型采用主清洗噴嘴和副清洗噴嘴相結合的噴嘴安裝排布方式，與現有僅僅包含與玻璃基板垂直的清洗噴嘴的清洗單元相比，通過在腔室后段增加設置副清洗噴嘴，增強了整個清洗單元對玻璃基板上較小顆粒的去除能力，阻止清洗掉的顆粒再次附著到玻璃基板上，同時使玻璃基板上的清洗廢水流向與玻璃基板的流向相反，減少了顆粒進入相鄰腔室的幾率。
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    “玻璃基板清洗單元” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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