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    回收利用硅切割廢砂漿及硅渣的方法及所用裝置

    681   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:41:31
    本發明提供一種回收利用硅切割廢砂漿及硅渣的方法和所用裝置，本發明的方法主要是將硅切割廢砂漿分離出的固體硅渣與鹵素氣體、鹵化氫氣體或氫氣進行氣化反應，生成鹵硅烷或硅烷，集硅切割廢渣的分離與有效轉換利用合為一體，同時生產出高附加值的工業原料，并可進一步利用反應余熱進行原料干燥和產品精餾提純，實現了硅切割廢砂漿大型、高效、節能、連續和低成本完全循環利用。
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    聲明：
    “回收利用硅切割廢砂漿及硅渣的方法及所用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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