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使用高強度和高功率超聲波增強等離子體表面改性

1115 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 05:00:58

本發明涉及一種固體物體(100)的等離子體表面改性工藝(以及相應的系統),其包括:通過等離子源(106)產生等離子體(104),將等離子體(104)施加到固體物體(100)的至少一部分表面(314),通過至少一個超聲的高強度和高功率聲波發生器(101)產生超聲的高強度和高功率聲波(102),其中該超聲波被指引朝向物體(100)的所述表面(314)傳播,使得對于所述表面(314)的至少一部分,與所述固體物體(100)接觸的氣體或氣體混合物(500)流的層流邊界層被減薄或破壞。以此方式,等離子體可以更有效地到達和影響要被等離子體處理的固體物體的表面,這顯著地加快了處理時間。

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“使用高強度和高功率超聲波增強等離子體表面改性” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)