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    等離子體化學氣相沉積系統及方法

    1060   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:02
    本發明是關于一種等離子體化學氣相沉積系統。該沉積系統包括等離子體沉積裝置，該等離子體沉積裝置包括等離子體炬和沉積室。該沉積系統還包括：尾氣循環裝置、新鮮氣體供給裝置和在線監控裝置，該尾氣循環裝置一端連接于沉積室的排氣口，另一端連接于等離子體炬的進氣口；該新鮮氣體供給裝置，連接于等離子體炬的進氣口；該在線監控裝置用于實時檢測氣體組分、溫度、沉積室壓力及沉積基體溫度。本發明還提出了一種等離子體化學氣相沉積方法。本發明方法將等離子體化學氣相沉積系統排放的氣體經簡單處理后進行氣體循環使用，克服現有技術氣體消耗較大的問題，大大降低氣體成本，同時保證沉積系統的穩定性。
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    聲明：
    “等離子體化學氣相沉積系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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