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    拋光片磨損的在線監測

    1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:21
    本發明涉及一種在化學機械拋光過程中使用在線傳感器測量拋光片的拋光設備和方法。由測量數據可識別出拋光片是否已經磨損壞了或是否不均勻磨損,并更換拋光片。按照即時的測量數據而不是按照統計預期方法來安排檢修,可將檢修的停機時間降到最低,并避免使用已經磨損壞了或是不均勻磨損的拋光片。新設計的拋光設備可延長拋光片使用壽命以及增加拋光效能。本發明的一個實施方案包括一個無觸點式傳感器,例如激光傳感器。
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