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    太陽能電池與其制作方法

    1110   編輯:中冶有色網   來源:紫石能源有限公司  
    2024-02-21 16:41:23
    權利要求書: 1.一種太陽能電池,其特征在于,所述太陽能電池包括依次疊置的背場層(20)、基層(30)和發射層(40),所述背場層(20)與所述發射層(40)之間具有PN結,所述基層(30)為超晶格結構層,所述超晶格結構層包括多個疊置的周期結構,各所述周期結構包括疊置的三個子結構層,三個所述子結構層中的一個所述子結構層包括GaAs,另一個所述子結構層包括InxGa1?xAs,再一個所述子結構層包括InyGa1?yP,其中,0 沿靠近所述發射層(40)的方向上,一個所述周期結構中的三個所述子結構層依次為第一子結構層(31)、第二子結構層(32)和第三子結構層(33),包括GaAs的所述子結構層為所述第一子結構層(31),包括InxGa1?xAs的所述子結構層為所述第二子結構層(32),包括InyGa1?yP的所述子結構層為所述第三子結構層(33); 一個所述周期結構中,包括GaAs的所述子結構層的厚度在2nm~50nm之間,包括InxGa1?xAs的所述子結構層的厚度在1~15nm之間,包括InyGa1?yP的所述子結構層的厚度在2~30nm之間。 2.根據權利要求1所述的太陽能電池,其特征在于,所述周期結構有2~200個,所述基層(30)的厚度在100~5000nm之間。 3.根據權利要求1所述的太陽能電池,其特征在于,至少部分所述周期結構還包括第四子結構層(34),所述第四子結構層(34)位于所述第三子結構層(33)的遠離所述第二子結構層(32)的表面上,所述第四子結構層(34)包括InzGa1?zAs,其中,0 4.根據權利要求3所述的太陽能電池,其特征在于,各所述周期結構中,包括InyGa1?yP的所述子結構層為第三子結構層(33),與所述發射層(40)距離最小的所述周期結構中不包括所述第四子結構層(34);所述第四子結構層(34)的厚度在1~15nm之間。 5.根據權利要求1所述的太陽能電池,其特征在于,0.3 6.一種太陽能電池的制作方法,用于制作權利要求1所述的太陽能電池,其特征在于,所述制作方法包括:在襯底的表面上設置背場層;在所述背場層的遠離所述襯底的表面上疊層設置多個周期結構,形成基層,各所述周期結構包括疊置的三個子結構層,各所述周期結構中的三個所述子結構層中的一個所述子結構層包括
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