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    場發射微納鎢發射極的制備方法

    1666   編輯:中冶有色網   來源:北京科技大學  
    2022-04-22 15:55:53
    權利要求 1.場發射微納鎢發射極的成形方法,其特征在于采用氣流磨處理和微注射成形相結合的方法制備場發射微納鎢發射極,具體步驟為: 1)原料粉末為鎢粉,純度大于99.9%,粒度小于1μm; 2)采用對噴式氣流磨裝置,對原料鎢粉進行一次或多次氣流磨處理;目的是為了實現粉末團聚的破碎和粉末表面球形度的提高,以提高粉末的松裝、振實密度和流動性;氣流磨過程均采用純度高于99.9%高純氮氣作為研磨介質,研磨腔內氣壓為0.5~0.7MPa,分選輪的頻率為40~60Hz;最終得到處理后粉末; 3)在純度大于99.9%的高純氫氣為保護氣氛下,將處理后的粉末在300℃~550℃的溫度范圍內進行一次或者多次的煅燒處理; 4)將煅燒后的粉末與有機粘結劑混煉均勻,并制成顆粒狀喂料; 5)根據場發射電推進器應用場景不同,對發射極形狀和尺寸要求不同,微注射成形所需形狀和尺寸的鎢坯體; 6)將微注射成形坯體浸泡于有機溶劑中后烘干,用于脫除部分粘結劑; 7)在純度大于99.9%的高純氫氣為保護氣氛下,將步驟6)烘干后的樣品在鎢絲燒結爐中進行熱脫燒結處理,制備出場發射微納鎢發射極。2.如權利要求1所述場發射微納鎢發射極的成形方法,其特征在于步驟3)中的煅燒處理工藝為:升溫速率為3~5℃/min,保溫時間為60~300min。 3.如權利要求1所述場發射微納鎢發射極的成形方法,其特征在于步驟4)中的粘結劑的配比為:微晶蠟為55%~60%、聚乙烯蠟為3%~10%,線性低密度聚乙烯為10%~15%、聚丙烯為20%~25%和硬脂酸為5%~10%。 4.如權利要求1所述場發射微納鎢發射極的成形方法,其特征在于步驟6)中所采用的有機溶劑為三氯乙烯溶液,在40~60℃溫度下浸泡6~12h,保證形成多孔的網絡體系,有助于后續熱脫燒結過程中粘結劑的分解和揮發。 5.如權利要求1所述場發射微納鎢發射極的成形方法,其特征在于步驟7)中熱脫燒結處理工藝為以0.5~1℃/min升溫到400℃,保溫60~120min,然后以2~3℃/min升溫到700℃,保溫60~120min,再以3~5℃/min升溫到900℃,保溫60~120min后,以1~3℃/min升溫到1000~1250℃,保溫60~180min。 6.
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