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    用于將靶材料沉積在有機電功能材料上的方法

    987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:28
    本發明涉及用于將靶材料沉積在有機電功能材料上的方法，所述方法包括以下步驟：提供具有有機電功能材料如電致發光發射層的襯底；通過脈沖激光沉積產生靶材料的蒸氣羽流；將第一層靶材料沉積在有機電功能材料上，同時保持沉積微粒的最大微粒速率低于預設值；和將第二層靶材料沉積在第一層靶材料上，同時沉積微粒的最大微粒速率高于預設值。本發明還涉及中間產品和涉及有機發光二極管。
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    聲明：
    “用于將靶材料沉積在有機電功能材料上的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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