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    柔性電子功能材料及其制備方法

    1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:28
    本發明公開了一種柔性電子功能材料及其制備方法。以硅片為襯底，在襯底上生長氧化層為犧牲層；采用化學或物理的方法，在犧牲層上生長功能性薄膜材料；將柔性襯底粘貼于功能性薄膜表面，再采用酸腐蝕方法將犧牲層腐蝕后，得到一種柔性電子功能材料。本發明針對現有的柔性電子功能材料制備工藝無法在高溫條件下實現，以及某些功能材料不能制備成柔性器件的不足，采用先制備犧牲層，并在高溫等苛刻條件下生長所需要的功能層，再利用腐蝕剝離的方法，得到一種既有良好的柔韌特性，又能具備所需功能的柔性電子材料，具有原材料價格低廉，制備工藝簡單、環保的特點。
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    “柔性電子功能材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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