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    功能器件陣列及其制作裝置和制作方法

    1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:30
    本發明提供了一種功能器件陣列及其制作裝置和制作方法，包括：產生系統，所述產生系統用于將生成的聲表面駐波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液體尖峰陣列；定位系統，所述定位系統用于將目標基板移動至所述功能材料溶液的液體尖峰處，且將所述目標基板的功能區表面陣列與功能材料溶液的液體尖峰陣列對位設置，其中，所述功能材料溶液的液體尖峰與所述目標基板的功能區表面接觸，而在所述目標基板的功能區表面處形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴揮發后形成所述功能器件。本發明提出了一種新型的制作工藝及裝置。無需將功能材料溶液通過噴嘴噴涂，不僅避免了資源的浪費，還實現了高密度功能器件陣列的制備。
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