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    半導體器件及其制造方法和電子裝置

    829   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:31
    本發明提供了一種半導體器件及其制造方法和電子裝置。所述方法包括：提供第一襯底，所述第一襯底具有第一表面和與之相對的第二表面，在所述第一襯底的第一表面一側形成有功能材料層，在所述功能材料層內形成有晶體管和第一互連結構；形成內嵌于所述功能材料層表面的第一頂部金屬層、第二頂部金屬層和第三頂部金屬層，所述第一頂部金屬層與所述第一互連結構電連接；提供第二襯底，將第二襯底與所述功能材料層相接合；從所述第二表面一側對所述第一襯底進行減薄處理；同時形成第二金屬層和導電插塞，并且所述第二金屬層與所述第二頂部金屬層電連接，所述導電插塞與所述第三頂部金屬層電連接。所述方法工藝步驟更加簡單，提高了器件的性能和良率。
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    “半導體器件及其制造方法和電子裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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