本發明涉及一種多孔質二氧化硅形成用涂布液,其特征為:較佳含有烷氧基硅烷化合物的部分水解縮合物、界面活性劑、和有機兩性電解質,且其金屬含量為50ppb或其以下。以往的多孔質二氧化硅形成用涂布液,一旦保存期間變長,就會有所得到的多孔質二氧化硅膜的細孔的排列規則性變低的情形。與此相反,若根據本發明的多孔質二氧化硅形成用涂布液,則可提供一種具有優良的保存穩定性的涂布液。即,所得到的多孔質二氧化硅的性能不易受到上述涂布液的保存期間的影響。因此,期望能貢獻于穩定地生產一種多孔質二氧化硅,即使將其暴露于電場,也不會引起電容、電壓的偏移,并且具有規則排列的均勻的細孔,可適合用作為光功能材料或電子功能材料的多孔質二氧化硅膜。
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