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    微半環凹模陣列化學-機械分級復合制造方法

    1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:31
    一種微半環凹模陣列化學-機械分級復合制造方法，包括如下步驟：1)制作精密球陣列研拋模；2)第一級研拋：采用精密球陣列研拋模，通過化學-機械加工方法實現微凹模陣列的形狀構型；3)第二級研拋：采用所述精密球陣列研拋模進行第二次研拋，通過調整超聲振動的參數和Z向進給參數，使得工件的材料去除形式轉變為材料塑性去除，降低研拋液中HNA溶液的濃度，減緩HNA溶液對功能材料的化學腐蝕速度；第二次研拋材料去除形式是微細超聲振動下的材料塑性去除和HNA溶液對襯底材料的緩慢化學腐蝕作用，可以對微凹模進行修形和表面質量提升。本發明的加工效果:高形狀精度、低表面粗糙度、高表面質量、高效率。
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