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    磁遙控驅動微結構的制備方法

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:03:01
    本發明屬于微機電領域,具體涉及一種利用三維激光加工技術制備磁遙控驅動微結構的方法。其首先利用物理或化學方法合成磁性材料,然后將磁性材料與光敏聚合材料體系共混制備磁性光刻膠,再利用搭建的激光三維加工系統逐點掃描磁性光刻膠,顯影后即獲得磁遙控驅動的微結構器件。制備的微結構充分利用了各種磁性材料的制備工藝及其磁學性質,并將激光加工技術與磁功能材料有機結合,突破了傳統激光聚合材料只是起結構支撐作用的局限,進而利用鐵磁或電磁實現該微結構驅動。其最大特點是該驅動方式簡單、易操作、無接觸、可遙控,并且該制備過程不受微結構形狀的限制,可以加工包含曲面在內的任意三維結構。
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    聲明：
    “磁遙控驅動微結構的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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