本發明屬于電子功能材料和器件領域,具體涉及鈦酸鉍鈉基鐵電薄膜的制備方法。本發明提出的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇鐵電薄膜的制備方法,是一種化學制備方法,即溶膠-凝膠法,其襯底采用Pt/Ti/SiO2/Si,前驅體溶液的濃度控制在0.1M-0.3M之間,通過加入一種新型螯合劑-氨水,獲得澄清透明的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇溶膠,并制備鐵電薄膜。本發明的方法采用一種新型螯合劑-氨水,制備鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇鐵電薄膜,使得薄膜的性能能夠得到優化。
聲明:
“鈦酸鉍鈉基鐵電薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)